微塵清洗機
去除電子及光學元件表面上可移動的微塵
此微塵清洗機清洗各式電子及光學元件表面上可移動的粉塵或細小微塵，採半自動設計，利用純水清洗或霧化噴淋，以提升製程良率。
設備特色
客製化清洗製具
依客戶產品特性客製清洗製具，以最大優化產品良率及生產效率。
客製化開放式製程
採開放式系統設計，使用者可隨時調整清洗製程及參數，靈活符合產線需求。
一站式洗淨即乾燥
透過噴洗功能去除細小污染物，洗完表面乾燥，無需烘乾，從而縮短製程並提升產能。
智能控制系統
利用微電腦操作，支持預設流程與遠端即時監控，確保執行清洗步驟，簡化管理並提升生產效率。
低汙染環保設計
依製程需求優化清洗流程，縮短生產周期，降低水電消耗與廢水排放。
客製化安全防護系統
可選配光閘、震動值等感應器，並內建自我診斷功能，能偵測異常，延長設備使用壽命。
適用於
光學元件 — 玻璃、鏡頭、石英、 VCM
半導體 — 晶圓、晶片
封裝製程 — 二極體、BGA、PCB、COB、CMOS、CCD、CSB、CoWos、載體 (horder) 等
機械組成
清洗
監測
客製化轉盤
上噴頭
下噴頭
噴水
二流體
純水水質偵測
光閘
震動值
PLC 控制器
電腦
FFU 高效過濾器
功能說明
使用者數目
用於乘載清洗物的載具
總信用限額
位於清洗槽內的清洗裝置
個別用戶分析
位於清洗槽內的清洗裝置，可提供雙面清洗，可依需求調整開關
使用純水清洗
使用純水霧化噴淋
檢查純水水質，穩定產品良率
位於清洗槽艙口的智能安全裝置，能有效防止人員在機器運轉中意外接觸設備
能有效即時監測過大震動，防止因產品擺放不穩造成損壞
透過程式控制，實現生產流程的自動化、優化與穩定
能有效率地蒐集整合生產流程的各式參數，並支持遠段遙控
能有效過濾空氣中的微粒，提供潔淨無塵的工作環境，並避免生產流程中的二次汙染
使用者數目
標配
總信用限額
標配
個別用戶分析
選配
標配
選配
標配
選配
選配
個別用戶分析
標配
選配
個別用戶分析
選配
清潔
- 客製化轉盤用於乘載清洗物的載具標配
- 上噴頭位於清洗槽內的清洗裝置標配
- 下噴頭位於清洗槽內的清洗裝置，可提供雙面清洗，可依需求調整開關選配
- 噴水使用純水清洗標配
- 二流體使用純水霧化噴淋選配
監控
- 純水水質偵測檢查純水水質，穩定產品良率標配
- 光閘位於清洗槽艙口的智能安全裝置，能有效防止人員在機器運轉中意外接觸設備選配
- 震動值能有效即時監測過大震動，防止因產品擺放不穩造成損壞選配
- PLC 控制器透過程式控制，實現生產流程的自動化、優化與穩定標配
- 電腦能有效率地蒐集整合生產流程的各式參數，並支持遠段遙控選配
- FFU 高效過濾器能有效過濾空氣中的微粒，提供潔淨無塵的工作環境，並避免生產流程中的二次汙染選配
範例搭配
入門款 (JAS-591)
托盤 520 毫米
上下噴嘴，水噴霧
光閘
震動值
PLC 控制器
適用於
VCM、holder+IR、PCB 基板
高階款 (JAS-700 TM)
轉盤 700 mm
上下噴頭，噴二流體
光閘
震動值
PLC 控制器
電腦
FFU 高效過濾器
適用於
鏡頭 IC、die bond、wire bond
設備結構
溶劑槽
純水槽
清洗槽
噴淋系統
烘乾冷卻系統
清洗槽升降門系統
電路控制系統
範例流程
JAS-391 B
溶劑清洗
純水浸泡
純水噴淋
烘乾
冷卻
* 所有流程均可依照產品特性進行調整。
例子
JAS-391 C
溶劑清洗
純水噴淋
烘乾
冷卻
* 所有流程均可依照產品特性進行調整。
定製方案，達成最佳清洗效能
嘉士精密機電專注於電子元件清洗技術，研發客製化溶劑與純水清洗設備，致力於優化鏡頭、晶片、PCB 等精密製程，提升良率並推動永續發展。