微尘清洗机

去除电子及光学元件表面上可移动的微尘

此微尘清洗机清洗各式电子及光学元件表面上的可移动粉尘或细小微尘,采用半自动设计,利用纯水清洗或雾化喷淋,以提升制程良率。

了解微尘清洗如何优化硅晶圆产线 →

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设备特色

定制清洗治具

根据客户产品特性定制清洗治具,以最大化优化产品良率及生产效率。

定制开放式制程

采开放式系统设计,使用者可随时调整清洗制程及参数,灵活符合产线需求。

一站式清洗即干燥

通过喷洗功能去除细小污染物,清洗后表面即干燥,无需烘干,从而缩短流程并提升产能。

智能控制系统

利用微电脑操作,支持预设流程和远程实时监控,确保清洗步骤顺利执行,简化管理并提高生产效率。

低污染环保设计

根据工艺需求优化清洗流程,缩短生产周期,减少水电消耗与废水排放。

定制安全防护系统

可选配光栅、震动值等传感器,并内建自我诊断功能,能够检测异常,延长设备使用寿命。

适用于

  • 光学元件 — 玻璃、镜头、石英、VCM

  • 半导体 — 晶圆、芯片

  • 封装制程 — 二极管、BGA、PCB、COB、CMOS、CCD、CSB、CoWos、载体(horder)等

机械组成

清洗
监测
定制转盘
上喷头
下喷头
喷水
二流体
纯水水质检测
光栅
震动值
PLC 控制器
电脑
FFU 高效过滤器
描述
用户数量
用于承载清洗物的载具
总信用额度
位于清洗槽内的清洗装置
个人用户分析
位于清洗槽内的清洗装置,提供双面清洗,可根据需求调节开关
使用纯水清洗
使用纯水雾化喷淋
检查纯水水质,稳定产品良率
位于清洗槽舱口的智能安全装置,有效防止人员在机器运转时意外接触设备
能有效实时监测过大震动,防止因产品摆放不稳造成损坏
通过程序控制,实现生产流程的自动化、优化与稳定
能高效地收集整合生产流程的各种参数,并支持远程遥控
能有效过滤空气中的微粒,提供洁净无尘的工作环境,避免生产流程中的二次污染
用户数量
标配
总信用额度
标配
个人用户分析
可选
标配
可选
标配
可选
可选
个人用户分析
标配
可选
个人用户分析
可选
  • 定制转盘
    用于承载清洗物的载具
    标配
  • 上喷头
    位于清洗槽内的清洗装置
    标配
  • 下喷头
    位于清洗槽内的清洗装置,提供双面清洗,可根据需求调节开关
    可选
  • 喷水
    使用纯水清洗
    标配
  • 二流体
    使用纯水雾化喷淋
    可选
  • 纯水水质检测
    检查纯水水质,稳定产品良率
    标配
  • 光栅
    位于清洗槽舱口的智能安全装置,有效防止人员在机器运转时意外接触设备
    可选
  • 震动值
    能有效实时监测过大震动,防止因产品摆放不稳造成损坏
    可选
  • PLC 控制器
    通过程序控制,实现生产流程的自动化、优化与稳定
    标配
  • 电脑
    能高效地收集整合生产流程的各种参数,并支持远程遥控
    可选
  • FFU 高效过滤器
    能有效过滤空气中的微粒,提供洁净无尘的工作环境,避免生产流程中的二次污染
    可选
清洁
定制托盘
用于存放产品的清洁装置
已包含
上部喷嘴
位于清洁槽内
已包含
下部喷嘴
位于清洁槽内部,可进行双面清洁
可选
喷水
使用纯净水进行清洁
已包含
双液喷雾
使用雾化纯水喷雾
可选
监控
纯净水质量
监控纯净水的质量以确保稳定的产品产量
已包含
光幕
储罐入口处的安全装置,可防止在操作过程中意外接触
可选
振动级别
监控过度振动以防止损坏
可选
PLC 控制器
自动化和优化生产流程
已包含
计算机
收集和整合生产参数,支持远程控制
可选
风扇过滤器单元 (FFU)
过滤空气中的颗粒,确保环境清洁并防止二次污染
可选

示例搭配

入门款 (JAS-591)

  • 托盘 520 mm

  • 上下喷嘴,喷水

  • 光栅

  • 震动值

  • PLC 控制器

适用于

VCM、holder+IR、PCB 基板

高阶款 (JAS-700 TM)

  • 转盘 700 mm

  • 上下喷头,喷二流体

  • 光栅

  • 震动值

  • PLC 控制器

  • 电脑

  • FFU 高效过滤器

适用于

镜头 IC、die bond、wire bond

设备结构

  • 溶剂槽

  • 纯水槽

  • 清洗槽

  • 喷淋系统

  • 烘干冷却系统

  • 清洗槽升降门系统

  • 电路控制系统

示例流程

JAS-391 B

溶剂清洗

纯水浸泡

纯水喷淋

烘干

冷却

*所有流程均可根据产品特性进行调整。

例子

JAS-391 C

溶剂清洗

纯水喷淋

烘干

冷却

*所有流程均可根据产品特性进行调整。

定制方案,达成最佳清洗效能