此微尘清洗机清洗各式电子及光学元件表面上的可移动粉尘或细小微尘,采用半自动设计,利用纯水清洗或雾化喷淋,以提升制程良率。
根据客户产品特性定制清洗治具,以最大化优化产品良率及生产效率。
采开放式系统设计,使用者可随时调整清洗制程及参数,灵活符合产线需求。
通过喷洗功能去除细小污染物,清洗后表面即干燥,无需烘干,从而缩短流程并提升产能。
利用微电脑操作,支持预设流程和远程实时监控,确保清洗步骤顺利执行,简化管理并提高生产效率。
根据工艺需求优化清洗流程,缩短生产周期,减少水电消耗与废水排放。
可选配光栅、震动值等传感器,并内建自我诊断功能,能够检测异常,延长设备使用寿命。
光学元件 — 玻璃、镜头、石英、VCM
半导体 — 晶圆、芯片
封装制程 — 二极管、BGA、PCB、COB、CMOS、CCD、CSB、CoWos、载体(horder)等
托盘 520 mm
上下喷嘴,喷水
光栅
震动值
PLC 控制器
VCM、holder+IR、PCB 基板
转盘 700 mm
上下喷头,喷二流体
光栅
震动值
PLC 控制器
电脑
FFU 高效过滤器
镜头 IC、die bond、wire bond
溶剂槽
纯水槽
清洗槽
喷淋系统
烘干冷却系统
清洗槽升降门系统
电路控制系统
溶剂清洗
纯水浸泡
纯水喷淋
烘干
冷却
*所有流程均可根据产品特性进行调整。
溶剂清洗
纯水喷淋
烘干
冷却
*所有流程均可根据产品特性进行调整。